遠在1643年,意大利物理學家托里拆利發現,真空和自然空間有大氣和大氣壓力存在。他將一根一端封閉的長玻璃管灌滿汞,并倒立于汞槽中時,發現管中汞面下降,直至與管外的汞面相差76厘米時為止。托里拆利認為,玻璃管汞面上的空間是真空,76厘米高的汞柱是因為存在大氣壓力的緣故。
1650年,德國的奧托·馮·格里克制成活塞真空泵。1654年,他在馬德堡進行了的馬德堡半球試驗:用真空泵將兩個合在一起的、直徑為14英寸(35.5厘米)的銅半球抽成真空,然后用兩組各八匹馬以相反方向拉拽銅球,始終未能將兩半球分開。這個的試驗又一次證明,空間有大氣存在,且大氣有巨大的壓力。為了紀念托里拆利在科學上的重大發現和貢獻,以往習用的真空壓力單位就是用他的名字命名的。
19世紀中后期,英國工業革命的成功,促進了生產力和科學實驗發展,同時也推動了真空技術的發展。1850年和1865年,先后發明了汞柱真空泵和汞滴真空泵,從而研制成了白熾燈泡(1879)、陰極射線管(1879)、杜瓦瓶(1893)和壓縮式真空計(1874)。壓縮式真空計的應用使低壓力的測量成為可能。
20世紀初,真空電子管出現,促使真空技術向高真空發展。1935~1937年發明了氣鎮真空泵、油擴散泵和冷陰極電離計。這些成果和1906年制成的皮拉尼真空計至今仍為大多數真空系統所常用。
1940年以后,真空應用擴大到核研究(回旋加速器和同位素分離等)、真空冶金、真空鍍膜和冷凍干燥等方面,真空技術開始成為一個獨立的學科。第二次世界大戰期間,原子物理試驗的需要和通信對高質量電真空器件的需要,又進一步促進了真空技術的發展。
我國真空工業從誕生到經歷了兩個發展期:從20世紀50年代開始到20世紀80年代中期是個發展期,這一時期是從制造簡單的抽氣機開始的。當時全國生產真空設備的企業不足20家,產品以中低檔真空獲得設備為主,如制鏡鍍膜機香煙包裝機等。從20世紀80年代后期到整個90年代是中國真空工業發展的第二個時期。這期間,生產企業增加到近3000家,從業人員達到3.5萬人。整個真空行業經過“七五”、“八五”的技術改造后整體水平有了大幅提升,從加工條件上講,加工中心數控機床、樹脂砂鑄件等先進生產設備開始裝備企業。到1996年,由于煉鎂行業的拉動,使真空行業得到飛速發展。
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